300-900纳米 铌酸锂单晶薄膜

顶层器件层

尺寸

3, 4, (6) 英寸

切向

X, Z, Y切等

材料

铌酸锂

厚度

300-900 纳米

掺杂（可选）

掺镁

埋层

材料

二氧化硅

厚度

1000-4000 纳米

基底

材料

硅、铌酸锂、石英、熔融石英等

厚度

400-500 微米

电极层（可选）

材料

铂金，金，铬

厚度

100-400 纳米

位置

在顶层器件层与埋层之间或埋层与基底之间

300-900 纳米 钽酸锂单晶薄膜

顶层器件层

尺寸

3, 4, 6 英寸

切向

 Y-42, Y-46.3, Z切等

材料

钽酸锂

厚度

300-900 纳米

埋层

材料

二氧化硅

厚度

300-4000 纳米

基底

材料

硅

厚度

400-500 微米

5-50微米 硅基钽酸锂、铌酸锂薄膜

顶层器件层

尺寸

3, 4, 6 英寸

切向

X, Z, Y-42, Y-46.3切等

材料

钽酸锂、铌酸锂等

厚度

5-50 微米

基底

材料

硅

厚度

230-500 微米

自支持超薄、超平晶片

尺寸

3, 4 英寸

切向

X, Y, Z切等

厚度

10-60 微米

材料

铌酸锂、钽酸锂、硅等

表面

双抛或单抛

特殊定制铌酸锂、钽酸锂薄膜

顶层/ 详情

基底层

顶层薄膜层

多层结构

图形电极&波导结构

异质材料 (二氧化硅/硅, 硅, 蓝宝石, 石英等)

周期性极化反转铌酸锂PPLN

特殊尺寸

电极 (金, 铂金, 铬, 铝等)

切向 (与体材料相同 )

掺杂 (镁, 铁, 铒, 铥等)

100-1000 纳米

铌酸锂

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100-1500 纳米 

钽酸锂

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5-50 微米

铌酸锂

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5-50 微米

钽酸锂

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