铌酸锂单晶薄膜
钽酸锂单晶薄膜

300-900纳米,5-50微米

300-900纳米铌酸锂单晶薄膜

300-900纳米 铌酸锂单晶薄膜

顶层器件层

尺寸

3, 4, (6) 英寸

切向

X, Z, Y切等

材料

铌酸锂

厚度

300-900 纳米

掺杂(可选)

掺镁

 

 

埋层

材料

二氧化硅

厚度

1000-4000 纳米

基底

材料

硅、铌酸锂、石英、熔融石英等

厚度

400-500 微米

电极层(可选)

材料

铂金,金,铬

厚度

100-400 纳米

位置

在顶层器件层与埋层之间或埋层与基底之间

铌酸锂单晶薄膜
二氧化硅
硅、铌酸锂、石英或熔融石英基底
铌酸锂单晶薄膜
金电极或铂金电极
铌酸锂基底
二氧化硅
铌酸锂单晶薄膜
金电极或铂金电极
铌酸锂基底
二氧化硅
掺镁铌酸锂单晶薄膜
铌酸锂基底
二氧化硅

300-900纳米钽酸锂单晶薄膜

300-900 纳米 钽酸锂单晶薄膜

顶层器件层

尺寸

3, 4, 6 英寸

切向

 Y-42, Y-46.3, Z切等

材料

钽酸锂

厚度

300-900 纳米

埋层

材料

二氧化硅

厚度

300-4000 纳米

基底

材料

厚度

400-500 微米

钽酸锂单晶薄膜
二氧化硅
硅基底

5-50微米硅基钽酸锂、铌酸锂薄膜

5-50微米 硅基钽酸锂、铌酸锂薄膜

顶层器件层

尺寸

3, 4, 6 英寸

切向

X, Z, Y-42, Y-46.3切等

材料

钽酸锂、铌酸锂等

厚度

5-50 微米

基底

材料

厚度

230-500 微米

钽酸锂单晶薄膜
硅基底
铌酸锂单晶薄膜
硅基底

自支持超薄晶片、超平晶片

自支持超薄、超平晶片

尺寸

3, 4 英寸

切向

X, Y, Z切等

厚度

10-60 微米

材料

铌酸锂、钽酸锂、硅等

表面

双抛或单抛

 

 

铌酸锂单晶薄膜
钽酸锂单晶薄膜

特殊定制薄膜

特殊定制铌酸锂、钽酸锂薄膜

顶层/ 详情

基底层

顶层薄膜层

多层结构

图形电极&波导结构

异质材料 (二氧化硅/, 蓝宝石, 石英等)

周期性极化反转铌酸锂PPLN

特殊尺寸

电极 (, 铂金, 铬, 铝等)

切向 (与体材料相同 )

掺杂 (, , , 铥等)

100-1000 纳米

铌酸锂

100-1500 纳米 

钽酸锂

 

5-50 微米

铌酸锂

 

 

 

 

5-50 微米

钽酸锂